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压阻式MEMS压力传感器的原理与分析

发布日期:2020-12-05 13:50

  本文介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理,该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成,压阻薄膜连接组成惠斯登电桥,以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使...

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