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薄膜压力传感器工作原理

发布日期:2020-12-05 13:50

  ,结构,工艺等进行了分析,并介绍了应用离子溅镀,激光调阻等技术研制成的一种小型超低温

  ,结构设计,版图设计以及试验结果,并对研究过程中的关键技术及解决方法进行了探讨.传感器是依据溅射薄膜应变原理,选用...

  、设计方法和工艺技术、分析了各工艺参数对传感器质量的影响,通过试验,提出了一套最优工艺实现方案。研制...

  及核心敏感元件的应力分布进行了分析研究,并初步确定了敏感元件上的电阻分布.根据传感器的使用特...

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